內嚙合齒輪泵有漸開線齒形(Crescent)和擺線齒形(Grout)兩種，其結構示意可見圖。這兩種內嚙合齒輪泵工作原理和主要特點皆同于外嚙合齒輪泵。在漸開線齒形內嚙合齒輪泵中，小齒輪和內齒輪之間要裝一塊月牙隔板，以便把吸油腔和壓油腔隔開，如圖（a）；擺線齒形嚙合齒輪泵又稱擺線轉子泵，在這種泵中，小齒輪和內齒輪只相差一個齒，因而不需設置隔板，如圖（b）。內嚙合齒輪泵中的小齒輪是主動輪，大齒輪為從動輪，在工作時大齒輪隨小齒輪同向旋轉。
內嚙合齒輪泵的結構緊湊，尺寸小，重量輕，運轉平穩，噪聲低，在高轉速工作時有較高的容積效率。但在低速、高壓下工作時，壓力脈動大，容積效率低，所以一般用于中、低壓系統。在閉式系統中，常用這種泵作為補油泵。內嚙合齒輪泵的缺點是齒形復雜，加工困難，價格較貴，且不適合高速高壓工況。